ภาพจาก https://smud.bizenergyadvisor.com/article/compressed-air-systems

การแก้ไข จึงจำเป็นต้องปรับปรุงแก้ไขทุกๆจุด ไปพร้อมๆ กัน เพื่อให้มั่นใจได้ว่า CDA และ แก๊สที่ได้ มีคุณภาพที่ตรงตามมาตรฐานที่ทางโรงงานต้องการเพื่อใช้ในกระบวนการผลิตชิ้นงานอย่างมีประสิทธิภาพ

ด้านล่างนี้เป็นตัวอย่าง วิธีการที่ใช้ในการปรับปรุงแก้ไขทั้งสำหรับ CDA และ กลุ่มแก๊สที่ส่งโดยท่อจ่าย 

• • • • การตรวจสอบ และ กำจัด สารเคมี หรือ เคมีระเหิด ต่างๆ บริเวณใกล้เคียงกับเครื่อง Compressor (อาจหมายรวมถึง Cooling tower ด้วย)

      • การทำ Particle Counter  ซึ่งอาจพบทั้ง ฝุ่น สิ่งแปลกปลอม และ สารดูดความชื้นปะปนอยุ่

      • การตรวจสอบด้วย EDX ตรงจุด sample point เช่นที่ membrane ของ final filter ในระบบ CDA เพื่อให้ทราบ ถึงส่วนประกอบของสารที่ปะปนหรือแปลกปลอม ไปจากที่ต้องการของระบบ

      • Purging ระบบแจกจ่าย CDA และ กลุ่มแก๊สทั้งหมด เพื่อขจัด อนุภาค และ ฝุ่นที่ไม่พึงประสงค์

หลังจากทำการปรับปรุงแก้ไข ในจุดหลักๆ ข้างต้นแล้ว รวมถึงการแก้ไขด้วย วิธีอื่นๆ ที่ไม่ได้กล่าวถึงในที่นี้ 

ทางโรงงานยังคงต้อง ใส่ POU filter เข้าไปที่จุดใช้งานในการผลิตที่สำคัญๆ เพื่อเป็นปราการด่านสุดท้าย ให้มั่นใจได้ ว่า CDA และ แก๊สต่างๆ ที่จ่ายเข้ามามีคุณภาพได้มาตรฐานอย่างแน่นอน เพื่อกระบวนการผลิตชิ้นงานที่ยั่งยืน

#ฟิลเตอร์ของ PORVAIR FILTRATION GROUP  "GasPro™ TEM Series" ถูกใช้เพื่อให้มั่นใจได้ถึงความสะอาดสูงสุดของแก๊สที่ใช้ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และไมโครอิเล็กทรอนิกส์