High Purity Gas Filter

Point-of-Use Filter( POU Filter )

In line Filter

In-Line Filter

GasPro™ TEM Series

ฟิลเตอร์ของ PORVAIR FILTRATION GROUP  "GasPro™ TEM Series" ถูกใช้เพื่อให้มั่นใจได้ถึงความสะอาดสูงสุดของแก๊สที่ใช้ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และไมโครอิเล็กทรอนิกส์

ฟิลเตอร์ถูกสร้างขึ้นมาในระบบ    คลีนรูมที่ได้มาตรฐาน ISO 9001  ตัวฟิลเตอร์มีรอยเชื่อมที่เรียบเนียนโดยได้รับการเชื่อมภายใต้สภาวะอากาศบริสุทธิ์ และ ปราศจากฝุ่น  ใช้น้ำที่มีปริมาณอิออนและเกลือแร่ต่ำในการชะล้างทำความสะอาด รวมทั้งใช้ไนโตรเจนแรงดันสูงในการอัดล้างรอบสุดท้ายเพื่อขจัดอนุภาคเล็กๆอันเป็นสิ่งสกปรกให้เหลือน้อยที่สุด

ฟิลเตอร์นี้ ผ่านกระบวนการทำให้แห้งแบบสุญญากาศเพื่อให้มีสารอินทรีย์หลงเหลืออยู่น้อยที่สุด โดยเหลือน้อยกว่า 10 ppb THC  (10 ส่วนในล้านส่วน total hydrocarbon) เลยทีเดียว

นอกจากนี้แล้วฟิลเตอร์ดังกล่าว ยังปราศจากอนุภาคสิ่งสกปรก และ ไร้สารเคมีอีกด้วย  ตัวฟิลเตอร์ที่ถูกผลิตขึ้นจะถูกจัดส่งในถุงซีลปิดสนิทเพื่อเพิ่มประสิทธิภาพและรักษาความบริสุทธิ์สูงสุดก่อนถูกนำออกไปติดตั้งที่จุดใช้งาน ตามมาตรฐานอุตสาหกรรมไมโครอิเล็กโทรนิกส์ต่อไป

และยิ่งไปกว่าการเป็นฟิลเตอร์แก๊สความบริสุทธิ์สูงที่ใช้เพื่อตอบสนองความต้องการพื้นฐานแล้ว ผลิตภัณฑ์นี้ยังได้รับการทดสอบอย่างเข้มงวดขึ้นไปอีกเพื่อให้มั่นใจได้ว่ามีประสิทธิภาพในการกรองสิ่งต่างๆได้อย่างเป็นเลิศ ปลดปล่อยปริมาณการไหลของแก๊สได้อย่างแม่นยำ รวมทั้งตอบสนองต่อการใช้แก๊สได้อย่างปลอดภัยอีกด้วย

ฟิลเตอร์ของ PORVAIR FILTRATION GROUP  "GasPro™ TEM Series"

• ได้รับการตรวจรอยรั่ว ทั้งหมด 100% เพื่อความปลอดภัย ป้องกันแก๊สเล็ดรอดออกมาตามรอยรั่ว ซึ่งเป็นสาเหตุนำไปสู่การติดไฟ การกัดกร่อน และการปล่อยสารพิษต่างๆ รวมทั้งทำให้เกิดกระบวนการ pyrophoric  (pyrophoric substance คือ สารที่เมื่ออยู่ภายใต้อากาศ หรือทำปฏิกิริยากับความชื้นในอากาศจะเกิดการลุกติดไฟได้เอง)  

• กล่องฟิลเตอร์ (filter housing)  จะได้รับการตรวจสอบรอยรั่วด้วยแก๊ส Helium ทั้งหมด 100%  ด้วยอัตราการรั่ว (leak rate)      1x10-9 atm scc/second (Standard cubic centimetre per second)

• ได้ผ่านกระบวนการขัดแบบ Electro polished (วิธีการขัดผิวรูปแบบหนึ่งที่ขัดเงาด้วยไฟฟ้า) เพื่อให้ได้พื้นผิวสำเร็จที่สามารถป้องกันการกัดกร่อนได้ พื้นผิวจะถูกเพิ่มอัตราส่วน Chrome ต่อ Iron  เพื่อปรับคุณสมบัติให้เกิดการกัดกร่อนที่พื้นผิวให้น้อยที่สุด

• ถูกผลิตขึ้นในห้องคลีนรูม Class 100 ที่มีความสะอาดสูง และ ล้างทำความสะอาดด้วยน้ำที่มีแร่ธาตุต่ำ รวมถึงอัดล้างด้วยไนโตรเจนแรงดันสูงเพื่อกำจัดอนุภาคต่างๆอีกด้วย

• ให้ประสิทธิภาพการกรองที่มีความละเอียดอย่างยิ่งยวด

• ให้ประสิทธิภาพการกรองที่มีความละเอียดอย่างยิ่งยวด

• สามารถใช้ที่อุณหภูมิได้สูงถึง 500°C (930°F) และ สำหรับรุ่นที่เป็น Hastelloy® C22  สามารถทนได้ถึง 700°C (1290°F) ในงานแก๊สเฉื่อย

• อัตราการกรองอยู่ที่  9 LRV  (Logarithm reduction values) สำหรับอนุภาคขนาด 0.003 micron โดยทดสอบตามมาตรฐาน SEMI F38 และ มาตรฐาน ISO 12500 

• สามารถขจัดอนุภาคต่างๆที่เป็นสาเหตุให้เกิดการกัดกร่อน รวมทั้งกำจัดอนุภาคที่หลุดออกมาจากระบบลำเลียงแก๊ส เนื่องจากในระบบมีชิ้นส่วนที่เคลื่อนไหว เช่น อุปกรณ์ปรับความดัน และ วาล์ว