High Purity Chemical Filters

LiquiPro™ 

ฟิลเตอร์ของ PORVAIR FILTRATION GROUP  "LiquiPro™" ทั้ง LiquiPro™ filter และ Filter housing (กล่องฟิลเตอร์) ถูกออกแบบมาสำหรับกระบวนการในอุตสาหกรรมไมโครอิเล็กทรอนิกส์ และ กระบวนการ อื่นๆดังต่อไปนี้

CMP (Chemical Mechanical Polishing ) เป็นกระบวนการขัดเงาบนพื้นผิวเวเฟอร์โดยใช้ทั้งคุณสมบัติทางกลและคุณสมบัติทางเคมีของสสาร LiquiPro™ SL filter  ถูกออกแบบมาด้วยวัสดุโพลีพรอพิลีน (Polypropylene) เป็นหลัก ตัวฟิลเตอร์สามารถใช้ได้กับสารละลาย/สารผสม (slurry) ที่หลากหลายได้แก่ aluminas, colloidal และ ceria

LiquiPro™ SL filter สามารถถูกติดตั้งได้ทั้งที่จุดใช้งาน (Point-Of-Use ,POU)  และ ที่ในระบบลำเลียง Bulk Slurry ( Bulk Slurry Delivery System ,BSDS)

LiquiPro™ BU filter เป็นฟิลเตอร์ที่ประกอบขึ้นด้วย PES membrane (Polyethersulfone membrane)

ฟิลเตอร์นี้ใช้ในกระบวนการ Post CMP Clean  ซึ่งกระบวนการดังกล่าวจะใช้สารเคมีพวก Dilute HF หรือ Ammonia Solution

"LiquiPro™ range" ยังถูกนำไปใช้ในกระบวนการอื่นๆอีกเช่น

 LiquiPro™ SL filter ใช้ในกระบวนการ PVD (Physical vapour deposition ) 

LiquiPro™ FG  filter ใช้ในกระบวนการ WEC (Wet Etch Clean) 

LiquiPro™ MI filter ถูกใช้ในกระบวนการ Photolitho

นอกจากนี้ยังมีฟิลเตอร์ และ ส่วนประกอบรุ่นอื่นๆใน range อีกได้แก่

LiquiPro™ PA

LiquiPro™ EZ

Patented PFA housing

YS Stainless Steel Housing

YP Housing

Etc.

ลูกค้าที่สนใจ สามารถสอบถาม ราคา และ ขอใบเสนอราคา ได้โดยดูที่ Contact us

Customer who interest in above product could ask for price and quotation by click Contact us